पतली परत वाले सौर सेलों के निर्माण में, थर्मल ड्रिफ्ट को बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। यदि तापमान में एक डिग्री का भी अंतर हो जाए, तो इससे फोटोरेजिस्ट के अवशेष बन जाते हैं, जिससे उत्पादन प्रक्रिया प्रभावित होती है। इसलिए आवश्यक है कि ऊष्मा सही जगह पर ही पहुँचे, एवं चक्र दर चक्र ऐसा ही रहे।
इन्फ्रारेड प्रैसिजन: सब-मिलीमीटर स्तर पर थर्मल फील्ड नियंत्रण
हमने इस ड्रायर लैंप को ऐसे एनआईआर स्रोतों के आधार पर बनाया है, जो तेज़ एवं सटीक तापन प्रदान करते हैं। इसके परिणामस्वरूप सब्सट्रेट पर सब-मिलीमीटर स्तर पर समान थर्मल फील्ड बनता है, एवं वेफर के तापमान में ±0.1°C की सटीकता बनी रहती है।
नियंत्रण प्रणाली में ही पुनरावृत्ति की सुविधा है; इसलिए हर बार का तापन प्रक्रिया पहले वाले के समान ही होता है – कोई “हॉट स्पॉट” नहीं, कोई “कोल्ड एज” नहीं। यह क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप है, एवं शून्य कणों के उत्पादन के कारण लंबे समय तक उत्पादन प्रक्रिया स्थिर रहती है।
पतली परत वाले सौर सेलों के निर्माण में इसकी उपयोगिता
पतली परत वाले सौर सेलों के निर्माण में सटीक थर्मल नियंत्रण आवश्यक है। यह लैंप, लिथोग्राफी प्रक्रिया में फोटोरेजिस्ट के उपयोग हेतु आवश्यक सटीकता प्रदान करता है – बिना किसी अतिरिक्त ऊष्मा के, एवं बिना किसी अवशेष के।
तेज़ एवं सीधा तापन, तापन समय को कम करता है, ऊर्जा की खपत को कम करता है, एवं प्रक्रिया को स्थिर रखता है। यह लैंप 5,000+ घंटे तक काम कर सकता है, एवं इसमें आउटपुट में 5% से भी कम कमी होती है। इससे 24/7 ऑपरेशन संभव हो जाता है, एवं लैंपों की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
स्थापना एवं संचालन संबंधी नोट्स
यह ड्रायर लैंप, मौजूदा ट्रैकों में आसानी से लग सकता है; लेकिन ऑप्टिकल पथ को सटीक रूप से संरेखित करना आवश्यक है, ताकि समानता बनी रहे। आपको सब्सट्रेट स्टैक के लिए सही स्थिति एवं बीम प्रोफाइल सेट करने होंगे।
कम आर्द्रता वाले वातावरण में संचालन करने से दीर्घकालिक स्थिरता बनी रहती है। यदि सब्सट्रेटों की अवशोषण क्षमता में बहुत अंतर हो, तो थर्मल नियंत्रण के लिए नियमों में बदलाव करना आवश्यक है।