על רצפת המפעל, סטיות תרמיות אינן תיאורתיות. הן מתבטאות בגליונות פסולת, בפרופילים מפוצלים של הפוטורזיסט ובהפסדי תפוקה שמתפשטים לאורך הקו. כאשר הנורה בכלי Mattson RTP שלך מתיישנת, אחידות הטמפרטורה משתנה וחלון התהליך מצטמצם. בנינו מערכת נורה חלופית לעצור את הסטייה הזאת במקור.
מה שחשוב, טכנית
הנורה משתמשת במנורות הלוגן קצרות-גל במסגרת מעטפת קוורץ גבוהה-טוהר, ומאפשרת קצב עלייה מהיר בלי לשבור את מגבלת התקציב התרמי שלך. ברחבי אזור התהליך, האחידות ברמת הגליון נשמרת בתוך ±0.1°C, והחזרות מחזור אל מחזור נעה סביב 0.2°C. היא פועלת בצורה יציבה מטמפרטורות 250°C עד 650°C, עם תגובה תת-שנייה — שימושית עבור שלבי אפיית spike anneal ואפיית פוטורזיסט. ההרכבה מדורגת להפעלה בחדר נקי Class 1–100, ללא יצירת חלקיקים וממשק מחבר תואם לכלי Mattson.
למה זה עובד בליטוגרפיה
בליטוגרפיה, אפיית soft bake ו-hard bake דורשות בקרה תרמית מדויקת. אפילו חריגה קטנה משנה את ה-CD וזווית קיר הצד. עם הנורה הזו, פרופיל האפייה נשמר במדויק, שונות רוחב הקווים יורדת ושולי ה-alignment משתפרים. בנוסף, חוסכים באנרגיה מכיוון שהנורה מחממת את הגליון ולא את התא, ומרווחי השירות הארוכים מפחיתים את עומס התחזוקה המניעתית. פחות עצירות בלתי מתוכננות, תזמון החלפה צפוי, ותהליך יציב עם ערך Cpk מתועד.
הנה הדברים שיש לזכור
התקנה מחייבת התאמת כיוון הנורה, זרימת הקירור ויישור האופטיקה לתא Mattson הספציפי. אנו מספקים שגרת כיול וערכת מיפוי תרמית כדי שתוכל לתעד את האחידות לפני שחרור המערכת. הנורה מותאמת לאטמוספירות חנקן ואינרטיות — סביבות עתירות חמצן יקצרו את אורך החיים של האלמנט. יש לתכנן ריצת כשירות קצרה לאחר ההתקנה כדי לייצב את המתכון ולאשר את ביצועי החלקיקים בצמתים בתהליך שלך.