دیگر نیازی نیست تجهیزات خود را گرم کنید؛ بهتر است سطح ویفرها را گرم کنید.
بیشتر عناصر گرمایشی استاندارد، کمی پرمشکل هستند؛ زیرا انرژی را در تمام جهات پخش میکنند. در کارخانههای تولید نیمههادی، این موضوع مشکل بزرگی محسوب میشود.
وقتی که انرژی گرمایشی در یک جهت خاص هدایت نشود، دیوارههای داخلی تجهیزات گرانقیمت، تمام آن انرژی اضافی را جذب میکنند. در نتیجه، دیوارهها داغ میشوند. این موضوع نه تنها برای کسانی که ماشینها را کار میکنند، مشکلساز است، بلکه باعث اختلال در پایداری حرارتی تجهیزات نیز میشود.
روشی که ما برای حل این مشکل استفاده میکنیم:
ما از لامپهای مادون قرمز جهتدار استفاده میکنیم. به جای استفاده از لولههای کوارتزی ساده، از فرستندههای پوششدار و بازتابندههای تخصصی استفاده میکنیم.
میتوانید آن را مانند تغییر از لامپهای معمولی به فلاشها در نظر بگیرید؛ ما انرژی مادون قرمز را دقیقاً به جایی که باید، یعنی مستقیماً روی ویفر، هدایت میکنیم.
از آنجایی که پرتو انرژی محدود است، انرژی به بدنه تجهیزات برخورد نمیکند؛ گرما فقط به ویفر منتقل میشود. وقتی که میتوانید در حین کار، دیوارههای تجهیزات را لمس کنید، این موضوع بسیار خوب است.
نحوه نصب آنها:
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوان آنها را به جای لامپهای قدیمی نصب کرد. نیازی نیست اتاقهای تمیز را تخریب کنید یا سیستمهای خنککننده را از صفر ساختاربندی کنید. این روش بسیار ساده است.
اما یک نکته مهم: وقتی که انرژی مادون قرمز را به این شکل هدایت میکنیم، شدت انرژی در نقطه هدف افزایش مییابد؛ بنابراین باید کنترلکنندههای PID خود را بررسی کنید. اگر سنسورهای شما برای این شدت انرژی تنظیم نشده باشند، ممکن است دمای تجهیزات بیش از حد افزایش یابد و ویفرها آسیب ببینند. این مشکل قابل حل است، اما بسیار مهم است.
تأثیرات این روش بر کارکرد تجهیزات:
وقتی که از گرمایش جهتدار استفاده کنید، دیگر نیازی به فنهای خنککننده بزرگ و سیستمهای خنککننده مایعی نیست. تجهیزات کمتر فضا اشغال میکنند؛ محیط نیز پایدارتر میماند. و مهمتر از همه، تکنسینها میتوانند در اطراف تجهیزات حرکت کنند، بدون اینکه نگران سوختگی در حین تنظیمات دستی باشند. این روش باعث میشود محیط کار ایمنتر و کنترلپذیرتر شود.