در کارخانههای تولید سنسورهای بیوشیمیایی، ویفرهای حسگر بیولوژیکی مستلزم کنترل دقیق دما هستند؛ زیرا فوتورزیست، هرگونه انحراف در دما را تحمل نمیکند. با کوچکتر شدن ابعاد مهم، حتی کمترین انحراف در دمای پخت، منجر به اختلال در ابعاد خطوط تولید میشود و باعث افزایش میزان محصولات نامرغوب میگردد. لامپهای مادون قرمز مورد استفاده در فرآیندهای نیمههادی، این مشکل را به خوبی برطرف میکنند.
آنچه واقعاً اهمیت دارد
لامپهای مادون قرمزی که در فرآیند تولید سنسورهای بیوشیمیایی استفاده میشوند، امواج کوتاه مادون قرمز را تولید میکنند؛ این امواج باعث گرمایش سریع و متمرکز میشوند، بدون اینکه باعث انحراف دما شوند. در نتیجه، دمای سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. فوتورزیست نیز از تأمین یکنواخت انرژی بهره میبرد؛ بنابراین پروفایلهای گرمایشی مناسبی حاصل میشود. این سیستم برای استفاده در محیطهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ مناسب است، و در حین کار، هیچ ذرهای تولید نمیشود. این سیستم دارای قابلیت کار ۲۴/۷ بدون هیچ توقف ناخواستهای است؛ همچنین، طراحی حرارتی آن باعث عایقبندی مناسب اتاق و ابزارهای اطراف آن میشود.
چرا این سیستم برای این فرآیند مناسب است
ویفرهای سنسورهای بیوشیمیایی شامل لایههای نازک و خطوط فلزی ریزی هستند؛ این لایهها در صورت عدم یکنواختی دما، دچار مشکل میشوند. حفظ یکنواختی دما، باعث بهبود چسبندگی فوتورزیست، کاهش نقصها، و بهبود توزیع ابعاد مهم میشود. در نتیجه، بازدهی بالاتری حاصل میشود و میزان محصولات نامرغوب کاهش مییابد. همچنین، انرژی کمتری مصرف میشود؛ زیرا لامپ، فقط ناحیه مورد نظر را گرم میکند، نه کل سطح. زمان انجام کار نیز کوتاهتر میشود. در نهایت، عملکرد قابل پیشبینیای در تمام شیفتها، محصولات و دستگاهها حاصل میشود.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح سیستم ضروری است
نصب این سیستم مستلزم تطبیق اندازه لامپ با محل پخت، و همچنین همتراز کردن پرتو مادون قرمز با سطح ویفر است؛ اما انحرافات در ابزارها میتواند باعث اختلال در یکنواختی دما شود. برای تنظیم پروفایل گرمایشی و بررسی نقشه دما، باید آزمایشهای کوتاهی انجام شود. این لامپ در سطوحی که جذب نور قابل پیشبینی دارند، عملکرد بهتری دارد؛ لایههای با بازتاب یا نفوذپذیری بالا، نیاز به تنظیمات کوچکی دارند. پس از تنظیم، این لامپ به خوبی کار میکند و برای بیش از ۵۰۰۰ ساعت، خروجی استابیلی دارد.