Proč v čisté místnosti nahrazujeme horký vzduch infračervenými lampami
Pokud stále používáte cirkulaci horkého vzduchu k termálnímu zahřívání během zpracování polovodičů, pravděpodobně plýtváte spoustou času. Vidím to v laboratořích pořád – je to prostě „způsob, jakým se to vždycky dělalo“. Ale když bojujete o každou sekundu času potřebnou k dokončení práce, tento starý způsob začíná představovat problém.
Skutečný problém spočívá v tom, že horký vzduch funguje pomalu. Spoléhá se na konvekci, což v podstatě znamená existenci „prostředníka“. Zahřejete vzduch a ten potom musí ohřát vaši součástku. To způsobuje otravné zpoždění – pocit čekání, než se všechno stabilizuje.
Infračervené lampy eliminují tohoto „prostředníka“. Posílají elektromagnetické záření přímo do substrátu. Rozdíl v době dosažení cílové teploty je obrovský – s infračervenými lampami dosáhnete cílové teploty během sekund. S troubou s horkým vzduchem musíte čekat minuty, než se všechno stabilizuje. V provozu s vysokou kapacitou nejsou tyto minuty jen otravou – jsou to prostě zbytečné ztráty.
Kromě toho infračervené lampy poskytují velké množství tepla na malém prostoru. Můžete zaměřit teplo na konkrétní oblasti na waferu, aniž byste museli celou čistou místnost proměnit ve saunu. Tím se udržuje stabilní okolní teplota, což usnadňuje práci všem.
Ale pozor – to není magické řešení. Infračervené záření pracuje pouze v linii pohledu. Pokud má vaše součástka podivnou geometrii nebo hluboké prohlubně, vzniknou tam chladné body. Nemůžete prostě „vítr“ poslat kolem rohu, jako to funguje u ventilátoru. Musíte pečlivě zvolit místo umístění lamp, aby se teplo rozprostřelo rovnoměrně.
Nejlepší věc na této změně je to, kolik prostoru ušetříte. Můžete se zbavit obrovských potrubí a hlučných ventilátorů. Naše lampy se jednoduše zapojí do vašeho stávajícího zařízení. Časy provozu se zkrátí a účty za energii budou lepší – protože neplýtváte energií na zahřívání vzduchu v místnosti. Jen pozor: ujistěte se, že vaše senzory jsou nastaveny na měření záření, ne okolního vzduchu. Pokud to neuděláte, můžete překročit cílovou teplotu a poškodit svůj substrát. A to si nikdo nechce.