Přestaňte ohřívat své vybavení (a začněte ohřívat vaše wafery)
Většina standardních zahřívacích prvků je docela nepořádná – vyzařují energii do všech směrů, tedy 360 stupňů kolem dokola. V továrnách na polovodiče to představuje obrovský problém.
Když energie není zaměřena do jednoho směru, vnitřní stěny drahého vybavení prostě pohlcují veškerou tu zbytečnou energii. Výsledkem jsou „horké stěny“. To není jen noční můra pro lidi, kteří stroje obsluhují, ale také to úplně narušuje tepelnou stabilitu.
Takhle to řešíme.
Používáme orientační infračervené lampy. Místo toho, abychom je prostě umístili do obyčejného křemíkového trubice a doufali v to nejlepší, používáme potažené emitory a speciální reflektory.
Představte si to jako přechod od běžné žárovky na svítilnu. Nutili jsme infračervené záření směřovat přesně tam, kam má – přímo na wafery nebo substrát. Protože paprsk je úzký, energie nezasahuje do korpusu stroje. Teplo putuje přímo do pracovní části, ne do povrchu stroje. Je skvělé, když můžete během provozu stroje dotknout se jeho stěn – ty zůstávají chladné.
Jak to implementovat ve vašem zařízení
Tyto lampy jsme navrhli tak, aby se daly jednoduše nahradit původními lampami. Nemusíte rozebírat čistou místnost ani znovu vytvářet tepelné ochranné prvky. Prostě to funguje.
Ale pozor: když takto zaměříte infračervenou energii, intenzita záření na cílovém místě prudce vzroste. Budete muset znovu zkontrolovat své kontroléry PID. Pokud vaše senzory nejsou nastaveny na tento dodatečný tok energie, můžete překročit požadovanou teplotu a poškodit wafery. Je to jednoduché řešení, ale velmi důležité.
Co se tím opravdu změní
Jakmile přejdete na orientační ohřev, můžete se zbavit těch objemných externích chladicích ventilátorů a otravných chladicích systémů. Nástroj zabírá méně místa. Prostředí zůstává stabilní. A co je nejdůležitější, vaši technici mohou kolem vybavení volně pohybovat, aniž by se museli obávat popálenin během rychlých ručních úprav. Celé pracovní prostředí tak vypadá bezpečněji a lépe kontrolovatelně.