Gia công vỏ máy gia nhiệt bằng thép không gỉ

Wed, 03 Jun 2026 01:09:52 +0800

Trên sàn sản xuất, hiệu suất nung photoresist được đo bằng nanomet và phút. Một biến thiên 2°C trong quá trình soft bake hoặc hard bake có thể làm thay đổi kích thước quan trọng, làm hỏng một mẻ sản xuất và tiêu tốn hàng giờ không thể bù lại. Chúng tôi thiết kế vỏ bộ gia nhiệt bằng thép không gỉ để loại trừ biến động này.

Điểm quan trọng về mặt kỹ thuật
Vỏ được gia công từ thép không gỉ 316L—lựa chọn vì vật liệu này hoạt động ổn định trong môi trường chân không và phòng sạch, đồng thời chịu được hóa chất ăn mòn mà chúng tôi sử dụng trên thiết bị. Bộ gia nhiệt tích hợp đảm bảo độ đồng đều nhiệt ở mức wafer trong phạm vi ±0.1°C, với khả năng tái lập đủ chặt để duy trì hồ sơ photoresist qua nhiều mẻ sản xuất.
Chúng tôi kiểm soát hoàn thiện bề mặt và mối hàn để hạn chế phát sinh hạt bụi gần như tuyệt đối, bảo vệ năng suất trong các khu vực Class 1–100. Hệ thống điều khiển giữ nhiệt độ ổn định liên tục, giúp vận hành không bị gián đoạn bất ngờ.

Nhà Ở on The Warm IR Heater Shop

Gia công vỏ máy gia nhiệt bằng thép không gỉ