Hãy ngừng sử dụng các bộ sưởi thông thường, hãy sử dụng phương pháp sưởi có chọn lọc thay vào đó.
Nếu bạn từng làm việc với các bộ sưởi điện trở thông thường, bạn chắc hẳn đã biết rõ những khó khăn mà chúng gây ra. Chúng tỏa nhiệt ra mọi hướng, khiến mọi thứ trở nên hỗn loạn. Thay vì dùng năng lượng vào mục đích cần thiết, năng lượng lại bị hấp thụ bởi các bức tường bên trong chiếc tủ chứa thiết bị. Kết quả là các bức tường trở nên rất nóng. Điều này không chỉ làm hỏng các linh kiện nhạy cảm, mà còn gây khó khăn cho những người phải tiếp xúc với thiết bị này. Không ai muốn sử dụng một thiết bị có thể làm bỏng người sử dụng cả.
Cách hoạt động của phương pháp sưởi có chọn lọc
Chúng ta giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các đèn hồng ngoại tia ngắn. Có thể coi chúng như những chiếc đèn pin thay vì những bộ sưởi thông thường. Năng lượng từ đèn được truyền theo một đường thẳng, không lãng phí năng lượng để làm nóng không khí xung quanh. Nhờ vậy, nhiệt lượng được truyền trực tiếp lên bề mặt của wafer. Bằng cách điều chỉnh khoảng cách giữa đèn và wafer, cùng với việc sử dụng các tấm chắn phản xạ, chúng ta có thể chuyển toàn bộ nhiệt lượng đó vào bề mặt wafer. Kết quả là thân máy vẫn giữ được nhiệt độ ổn định.
Độ mạnh của đèn, độ chính xác, và một vài lưu ý
Những chiếc đèn này có công suất rất cao. Chúng rất hữu ích khi bạn cần tăng nhiệt độ nhanh trong quá trình xử lý wafer. Chúng thường được kết hợp với các bộ điều khiển PID để tránh việc nhiệt độ vượt quá mức mong muốn và làm hỏng sản phẩm. Nhưng bạn không thể chỉ tăng công suất mà không quan tâm đến các yếu tố khác. Nếu bạn sử dụng quá nhiều công suất trong một không gian hẹp mà không có tấm chắn, nhiệt lượng vẫn sẽ lan sang các bộ phận khác của máy. Chúng tôi nhận thấy rằng các tấm chắn làm từ vàng hoặc nhôm được mài bóng có hiệu quả tốt nhất – chúng giúp phản xạ các photon trở lại về phía wafer.
Những hạn chế của phương pháp này
Phương pháp sưởi có chọn lọc không phải là giải pháp hoàn hảo. Nó cũng có những hạn chế riêng. Cường độ nhiệt sẽ giảm nhanh khi bạn di chuyển xa khỏi nguồn sưởi. Nếu wafer không được đặt chính xác trong khay chứa, sẽ xuất hiện những vùng lạnh. Bạn cần đảm bảo rằng độ chính xác của trục Z được kiểm soát chặt chẽ để giữ cho nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer. Và cuối cùng: những chiếc đèn này rất nóng. Nếu quạt làm mát bị hỏng, đèn có thể bị cháy trong vài phút. Hãy đảm bảo rằng hệ thống an toàn của máy sẽ ngắt nguồn ngay khi dòng khí giảm xuống. Điều này sẽ giúp bạn tránh được nhiều rắc rối.