Hãy ngừng việc sưởi ấm thiết bị của bạn lại (và hãy sử dụng phương pháp sưởi ấm dành riêng cho các tấm wafer thay vì vậy).
Hầu hết các bộ phận gia nhiệt tiêu chuẩn đều gây ra nhiều vấn đề. Chúng phát ra năng lượng theo mọi hướng – tức là 360 độ xung quanh. Trong nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn, điều này là một vấn đề lớn.
Khi năng lượng không được chiếu vào một hướng cụ thể, các bộ phận bên trong máy sẽ hấp thụ toàn bộ năng lượng thừa đó. Kết quả là các bộ phận này trở nên quá nóng. Điều này không chỉ gây khó khăn cho những người vận hành máy, mà còn làm mất cân bằng về mặt nhiệt độ của toàn bộ hệ thống.
Đây là cách chúng tôi giải quyết vấn đề này:
Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại có khả năng chiếu năng lượng theo một hướng cụ thể. Thay vì chỉ sử dụng ống thủy tinh thông thường, chúng tôi sử dụng các bộ phát sóng được phủ lớp chất đặc biệt và các bộ phản xạ chuyên dụng.
Hãy tưởng tượng việc thay thế bóng đèn thông thường bằng đèn pin. Chúng ta có thể điều khiển chùm tia hồng ngoại để nó chiếu trực tiếp vào tấm wafer hoặc vật liệu cần được xử lý. Nhờ vậy, năng lượng không bị lãng phí mà được sử dụng hiệu quả. Bạn có thể chạm vào các bộ phận của thiết bị mà không lo bị bỏng, ngay cả khi máy đang hoạt động ở nhiệt độ cao nhất.
Cách lắp đặt:
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải tháo rời các bộ phận của phòng sạch hay xây dựng lại các bộ phận làm mát từ đầu. Chúng hoạt động ngay lập tức.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng khi tập trung năng lượng hồng ngoại như vậy, cường độ năng lượng tại điểm chiếu sẽ tăng lên rất cao. Bạn cần kiểm tra lại các bộ điều khiển PID của mình. Nếu các cảm biến không được cài đặt chính xác, bạn có thể khiến nhiệt độ vượt quá mức cho phép, gây hư hại cho tấm wafer. Đây là một vấn đề nhỏ, nhưng lại rất quan trọng.
Những thay đổi mà phương pháp này mang lại:
Khi sử dụng phương pháp sưởi ấm có hướng như vậy, bạn có thể loại bỏ những quạt làm mát cồng kềnh và các bộ làm mát bằng chất lỏng. Thiết bị sẽ chiếm ít không gian hơn. Môi trường xung quanh cũng sẽ ổn định hơn. Và quan trọng nhất, các kỹ thuật viên có thể di chuyển xung quanh thiết bị mà không lo bị bỏng trong quá trình điều chỉnh máy. Điều này giúp môi trường làm việc trở nên an toàn và dễ kiểm soát hơn nhiều.