http://warm-ir-heater-shop.com/uk/tags/rtp/ Recent content in RTP on The Warm IR Heater Shop Hugo uk Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/uk/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/uk/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Замінник лампи Mattson RTP"></p> <p>На виробничій лінії теплові коливання не є теоретичними. Вони проявляються у вигляді браку в пластинах, зруйнованих профілях фоторезисту та зниженні виходу продукції, що поширюється по всьому процесу. Коли лампа в інструменті Mattson RTP зношується, рівномірність температури змінюється, а технологічне вікно зменшується. Ми розробили систему заміни лампи, щоб припинити ці зміщення в їх джерелі.</p> <p><strong>Технічно важливі аспекти</strong><br> Лампа використовує короткохвильові галогенні елементи всередині оболонки з високочистого кварцу, що забезпечує швидкі темпи нагріву без перевищення теплового бюджету. По всій зоні процесу рівномірність температури на рівні пластини утримується в межах ±0,1°C, а повторюваність від циклу до циклу – на рівні 0,2°C. Працює стабільно в діапазоні від 250°C до 650°C з відгуком менше секунди — що зручно для етапів спайкового відпалу та випікання фоторезисту. Конструкція сертифікована для роботи в чистих приміщеннях класу 1–100, не генерує частинок і має роз’єм, сумісний з інструментами Mattson.</p>