Запобігання викривленню пластин за допомогою інфрачервоного випромінювання

Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800

Out on the line, a warped wafer isn’t just scrap. It’s a direct hit to yield and a headache for the schedule. Конвеєрна лінія не сприймає деформовану підкладку як просто брак. Це прямий удар по виходу продукції та ускладнення для графіка виробництва.

Convection ovens just can’t shake the thermal inertia and gradients. You end up with inconsistent photoresist profiles and stress locked into the film stack. Infrared heating cuts through that by dumping energy right where it’s needed, exactly when the process calls for it. Конвекційні печі не можуть позбутися теплової інерції та градієнтів. В результаті виходять нерівномірні профілі фоторезисту та внутрішні напруги, зафіксовані у шаруватій плівці. Інфрачервоне нагрівання усуває це, подаючи енергію саме туди, де вона потрібна, і саме в той момент, коли це вимагає процес.

Вафля on The Warm IR Heater Shop

Запобігання викривленню пластин за допомогою інфрачервоного випромінювання