Dijital kızılötesi kurutucu kontrol cihazı

Fri, 24 Jul 2026 09:11:59 +0800

Sınıf 100 temiz odasını gerçekten temiz tutmak
Sınıf 100 ortamında çalışırken ısıtma oldukça zor bir konudur. Burada sadece doğru sıcaklığı sağlamak yeterli değil; görünmeyen mikro parçacıklar da önemlidir.
Çoğu standart ısıtıcı eleman bu tür durumlarda başarısız olur. Bu ısıtıcılar gaz salınımına veya küçük mikro parçacıkların yayılmasına neden olur ve bu da wafların veya tıbbi polimerlerin bozulmasına yol açar. Bu durum hem sinir bozucu hem de maliyetlidir. Biz bu sorunu yüksek saflıkta sentetik kuvars kızılötesi lambalar kullanarak çözüyoruz.

DNS (Ekran) wafer kurutma lambası

Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800

Litografide, fotoresistin ısıtılmasını “sadece ısıtma” olarak görmeyiz. Bu işlem aslında boyutsal kontrolle ilgilidir. Yumuşak veya sert ısıtma sırasında meydana gelen 1°C’lik bir değişiklik, ürünün kritik boyutlarını etkiler. Eşit olmayan ısı dağılımı ise kenar bölgelerinde sorunlara ve verim kaybına yol açar. DNS ekranlı wafer kurutucu lambası bu gerçekleri göz önünde bulundurarak tasarlanmıştır; yani termal kontrol, yarı iletken üretim süreçlerine uygun şekilde yapılandırılmıştır.

Teknik açıdan önemli olanlar Lamba, fotoresistin termal tepkisine göre ayarlanmış kısa dalga boylu kızılötesi ışık kullanır. Böylece hızlı bir ısınma ve istikrarlı bir sıcaklık kontrolü sağlanır. Wafer seviyesindeki eşitlik ±0,1°C civarında kalır; bu da her bölgenin aynı termal koşullara sahip olduğu anlamına gelir. Temiz oda uyumluluğu ise ek bir özellik değildir; cihaz, 1–100 sınıfı temiz odalar için tasarlanmıştır ve parça oluşumunu en aza indiren malzemeler ve kaplamalar kullanılmıştır. Tekrarlanabilirlik ise kapalı döngü kontrolü ve 5.000 saat üzerinde stabil lamba çıkışı sayesinde sağlanır; yoğunluk değişimi %5’in altındadır.

Kurutucu on The Warm IR Heater Shop

Dijital kızılötesi kurutucu kontrol cihazı

DNS (Ekran) wafer kurutma lambası