Neden vakumlu kızılötesi kurutma yöntemi, kurşunsuz standartlar için en uygun çözümdür?
Yarı iletken sektörü artık yeşil bir gelecek için ciddi adımlar atmaya başladı. Kurşunsuz kurutma yöntemlerine büyük talep var ve dürüst olmak gerekirse, Vakumla uyumlu kızılötesi ısıtıcılar bu iş için en iyi çözüm.
Eski tip konveksiyon fırınları sadece sıcak hava üfler. Kızılötesi ısütıcılar ise farklıdır; enerjiyi elektromanyetik radyasyon aracılığıyla ileterek çalışır. Kimyasal çözücüler veya yoğun hava akımı gerekmez; sadece temiz ve doğrudan ısı kullanılır. Böylece çevresel hedeflere daha kolay ulaşılır.
Nasıl çalışır?
Vakum ortamında konveksiyon mümkün değildir. Hava olmadan ısıyı hareket ettiremezsiniz. İşte bu yüzden kısa dalga veya orta dalga kızılötesi lambalar kullanılır. Bunlar atmosferi etkilemez; doğrudan malzemeye nüfuz eder. Enerji malzemeye temas ettiğinde anında ısıya dönüşür.
Bu daha temiz bir çalışma yöntemidir. Yapıştırıcıları kurutmak veya foto dirençleri kurutmak için havadaki toz veya parçacıklar konusunda endişelenmenize gerek kalmaz. Ayrıca çok hızlıdır. 300 mm’lik bir wafer’ı ısıtmak için büyük bir odanın ısınmasını beklemek zorunda kalmazsınız; sadece ilgili bölgeyi ısıtırsınız.
Zorluklar (Mühendislik açısından)
Elbette bu sistem “tak ve çalıştır” şeklinde değildir. Lambaların vakum koşullarına dayanabilecek şekilde tasarlanması gerekiyor. Yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanılır; aksi takdirde gaz salınımı olur ki bu da temiz oda ortamında büyük bir sorundur. Ayrıca yüksek güç yoğunluğu sağlanarak tüm sistemin yer kaplaması azaltılır.
Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışınlar çok yüksek sıcaklıklar oluşturabilir. Eğer soğutma sistemleri yeterli değilse, waferlerde deformasyonlar veya lambalarda hasarlar oluşabilir. Burada önemli olan, ne kadar hızlı kurutma istediğiniz ile ısıyı ne kadar iyi kontrol edebileceğiniz arasındaki dengeyi sağlamaktır.
Pratikte nasıl kullanılır?
Bu sistem, kurşunsuz lehimlerin ve özel kaplamaların kurutulması için mükemmeldir. Yakıt yakmadığınız ve VOC’lerle dolu kimyasallar kullanmadığınız için, pratikte “sıfır emisyon” hedefine ulaşılmış olur. Eski, enerji tüketen termal tünellerin yerine kullanılabilir. Kabloları bağlayın, dalga boyunu seçin ve her wafer için harcanan enerji miktarının azaldığını göreceksiniz. Bu, üretim sürecini daha verimli hale getiren akıllıca bir çözümdür.