หลอดไฟสำหรับเครื่องอบแผ่นวัสดุ DNS (Screen)

Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800

ในกระบวนการโลหะศาสตร์ เราไม่ได้มองว่าการอบฟอโตเรซิสต์เป็นเพียงการให้ความร้อนธรรมดาๆ เท่านั้น แต่เป็นกระบวนการควบคุมขนาดของวัสดุอย่างแท้จริง การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิเพียง 1 องศาเซลเซียสก็สามารถส่งผลต่อขนาดของวัสดุได้ และการที่อุณหภูมิไม่สม่ำเสมอก็จะนำไปสู่ปัญหาต่างๆ เช่น ปัญหาที่ขอบวัสดุ และการสูญเสียผลผลิต หลอดไฟสำหรับอบวัตถุดิบในกระบวนการ DNS ถูกออกแบบมาโดยคำนึงถึงข้อเท็จจริงนี้ โดยมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเข้มงวดเพื่อให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์

สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค หลอดไฟนี้ใช้แสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่เหมาะสมกับการตอบสนองของฟอโตเรซิสต์ต่อความร้อน ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและแม่นยำ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในแต่ละจุดอยู่ในช่วง ±0.1 องศาเซลเซียส ซึ่งหมายความว่าทุกจุดจะได้รับความร้อนในปริมาณเท่ากัน นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังถูกออกแบบมาให้เหมาะกับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัยระดับ Class 1–100 โดยมีวัสดุและชิ้นส่วนที่ช่วยลดการเกิดฝุ่นละออง ความสามารถในการทำซ้ำได้อย่างแม่นยำนั้นมาจากการควบคุมแบบลูปปิด และการที่หลอดไฟสามารถทำงานได้อย่าง stabil ตลอดเวลามากกว่า 5,000 ชั่วโมง โดยมีการเปลี่ยนแปลงความเข้มของแสงน้อยกว่า 5%

เหตุผลที่เหมาะสมสำหรับการใช้งาน ในกระบวนการอบวัตถุดิบและฟอโตเรซิสต์ สิ่งที่สำคัญคืออุณหภูมิที่เชื่อถือได้ การควบคุมอุณหภูมิที่รวดเร็ว และการไม่มีสิ่งปนเปื้อนใดๆ หลอดไฟนี้สามารถตอบสนองความต้องการเหล่านี้ได้ โดยการลดเวลาในการอบ การควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ และการรักษาความสะอาดของห้องอบ ซึ่งหมายความว่าจะมีการสูญเสียผลผลิตน้อยลง และสามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ หลอดไฟนี้ยังช่วยลดการใช้พลังงาน และมีอายุการใช้งานที่ยาวนาน ซึ่งช่วยลดค่าใช้จ่ายในการซ่อมบำรุง

สิ่งที่ต้องคำนึงในการติดตั้งและการใช้งาน การติดตั้งหลอดไฟนี้ต้องมีการปรับเทียบทางแสงอย่างแม่นยำ และควบคุมแรงดันไฟฟ้าและกระแสไฟฟ้าให้เหมาะสมกับข้อกำหนดของตัวควบคุม มิฉะนั้น ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิก็จะลดลง หลอดไฟจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อกระแสลมในห้องอบและระบบระบายอากาศมีความสมดุลกับแผนการระบายความร้อนของหลอดไฟ มีข้อเสียเล็กน้อยที่ต้องคำนึงถึง นั่นคือ หากระบบมีขนาดไม่เพียงพอสำหรับการระบายความร้อน ก็อาจส่งผลให้อุณหภูมิไม่สม่ำเสมอได้ ดังนั้น ควรเลือกขนาดของหลอดไฟให้เหมาะสมกับขนาดของวัตถุดิบที่ใช้ในการผลิต

DNS on The Warm IR Heater Shop

หลอดไฟสำหรับเครื่องอบแผ่นวัสดุ DNS (Screen)