Лампа для сушки пластин DNS (Screen)

Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800

На линии литографии процесс сушки фотополимера не рассматривается просто как процедура нагрева. Это скорее процесс контроля размеров деталей, выполненный с высокой точностью. Даже небольшое изменение температуры на 1°C может повлиять на критические размеры деталей, а неравномерное распределение температуры ведет к проблемам с краями деталей и снижению объема готовой продукции. Лампа для сушки пластин DNS была разработана с учетом этих особенностей — ее система термоконтроля предназначена для обеспечения стабильных условий в процессе производства полупроводников.

Что имеет значение с технической точки зрения Лампа использует коротковолновый инфракрасный свет, настроенный таким образом, чтобы соответствовать тепловым характеристикам фотополимера. Это позволяет достигать быстрой стабилизации температуры. Равномерность температуры по всей поверхности пластины остается на уровне ±0,1°C, что значит, что каждая часть пластины получает одинаковое тепловое воздействие. Совместимость с чистыми помещениями также является важной характеристикой — конструкция лампы предусмотрена для использования в помещениях класса 1–100. Материалы и уплотнители, используемые в конструкции лампы, способствуют минимизации образования частиц. Повторяемость результатов достигается благодаря замкнутому контролю и стабильной работе лампы в течение более 5,000 часов, при этом отклонение интенсивности света не превышает 5%.

DNS on The Warm IR Heater Shop

Лампа для сушки пластин DNS (Screen)