Предотвращение деформации пластин с помощью инфракрасного излучения

Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800

Out on the line, деформированный вафер — это не просто брак. Это прямое снижение выхода годных изделий и проблема для графика производства.
Конвекционные печи не способны избавиться от тепловой инертности и градиентов. В результате возникают непостоянные профили фоторезиста и напряжения, закрепленные в стеке пленок. Инфракрасный нагрев решает эту задачу, подавая энергию точно в нужную точку и в нужный момент процесса.

Что важно под капотом
Мы подбираем коротковолновые инфракрасные излучатели в соответствии со спектром поглощения кремния и фоторезиста, чтобы энергия передавалась эффективно без перегрева. Это обеспечивает тепловое равномерность вафера уровня ±0,1°C по всей поверхности чека и повторяемый температурный профиль на каждом этапе.
Система работает в чистых помещениях классов 1–100 без генерации частиц, что подтверждается мониторингом в реальном времени. Выходные параметры стабильно поддерживаются свыше 5 000 часов с дрейфом интенсивности менее 5%. Кроме того, тепловой профиль можно настраивать для Soft Bake, Hard Bake и постотверждения без необходимости менять оборудование.

Предотвращение on The Warm IR Heater Shop

Предотвращение деформации пластин с помощью инфракрасного излучения