Замена лампы Mattson RTP

Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800

На производственном участке тепловые отклонения — это не теория. Они проявляются в виде бракованных пластин, разрушенных профилей фоторезиста и потерь выхода продукции, которые распространяются по всей линии. Когда лампа в вашем инструменте Mattson RTP стареет, равномерность температуры ухудшается, а технологическое окно сужается. Мы разработали систему замены лампы, чтобы остановить это отклонение у источника.

Что важно с технической точки зрения
Лампа использует коротковолновые галогенные элементы в корпусе из высокочистого кварца, что обеспечивает быстрый нагрев без превышения теплового бюджета. В зоне обработки равномерность температуры на уровне пластины поддерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость цикла — 0,2°C. Диапазон стабильной работы составляет от 250°C до 650°C с временем отклика менее секунды — удобно для этапов спайк-отжига и запекания фоторезиста. Узел соответствует стандартам класса чистоты 1–100, не генерируя частицы, а интерфейс соединения совместим с оборудованием Mattson.

Мэттсон on The Warm IR Heater Shop

Замена лампы Mattson RTP