Стандартные конвекционные печи по сути представляют собой просто большие контейнеры с горячим воздухом. В чистой комнате для производства полупроводников это настоящий кошмар. Почему? Потому что тепло не остается на одном месте — оно проникает в стенки оборудования, из-за чего корпус оборудования становится настолько горячим, что может обжечь человека. Кроме того, система вентиляции вынуждена постоянно бороться с этой ситуацией, чтобы поддерживать приемлемую температуру в помещении.
Лучший способ передачи тепла Мы используем другой подход. Вместо нагрева воздуха мы применяем лампы с коротковолновым инфракрасным излучением. Это похоже на фонарик: тепло движется по прямой линии, проходит мимо стенок печи и напрямую попадает на объект обработки. Энергия достигает точки назначения. Поскольку тепло не разлетается по всей комнате, внешняя оболочка оборудования не превращается в гигантский радиатор.
Сложности Чтобы добиться нужной скорости нагрева, мы используем кварцевые элементы высокой мощности. Они реагируют мгновенно, что замечательно, но они могут быть слишком агрессивными. Необходимо правильно подобрать расстояние между лампами: если они слишком близко друг к другу, поверхность обрабатываемого материала может быть повреждена. Если же они слишком далеко друг от друга, точность нагрева снижается, а тепло начинает распространяться по всему корпусу оборудования. Это требует тщательного балансирования.
Почему это важно Самое важное — это не само тепло, а то, чего у нас нет. Поскольку мы не используем большие объемы воздуха, можно обойтись без гигантских вентиляторов. Это значит меньше вибраций и меньше частиц в воздухе. В чистой комнате это огромное преимущество. К тому же операторы могут без опасений прикасаться к оборудованию.
Несколько советов по настройке Если вы собираетесь подключать оборудование, не просто подключайте его и надейтесь на лучшее. Мы рекомендуем использовать контроллеры мощности типа SCR. Они служат своего рода буфером, предотвращая перегрев нитьных ламп при скачках напряжения, и позволяют точно регулировать температуру.
И еще одно: если вы заменяете старые конвекционные элементы на инфракрасные лампы, сначала проверьте мощность вашей сети. Инфракрасные лампы потребляют больше энергии, чем обычные элементы.