Prevenção da deformação de pastilhas com infravermelho

Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800

Na linha de produção, uma pastilha empenada não é apenas sucata. É um impacto direto no rendimento e um problema para o cronograma.
Fornos de convecção não conseguem superar a inércia térmica e os gradientes. O resultado são perfis inconsistentes de fotoresiste e tensão acumulada na pilha de filmes. O aquecimento por infravermelho elimina isso ao fornecer energia exatamente onde é necessário, exatamente quando o processo exige.

O que importa na prática
Ajustamos os emissores de infravermelho de onda curta ao espectro de absorção do silício e do fotoresiste, para que a energia seja transferida de forma limpa, sem ultrapassagens. Isso proporciona uniformidade térmica a nível da pastilha de ±0,1°C em toda a chuck e um perfil de temperatura que se repete passo a passo.
O sistema opera em salas limpas Classe 1–100 com geração zero de partículas, verificada por monitoramento in situ de partículas. A saída mantém-se estável por mais de 5.000 horas com deriva de intensidade inferior a 5%. E é possível ajustar o perfil térmico para Soft Bake, Hard Bake e pós-cura sem necessidade de trocar componentes.

Deformação on The Warm IR Heater Shop

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