Lâmpada de cura infravermelha certificada fab

Wed, 10 Jun 2026 01:30:51 +0800

No chão de fábrica, você sabe exatamente o que uma variação de 1°C durante o bake do fotorresiste pode causar—desalinhamentos na largura de linha que podem levar ao descarte de uma grande quantidade. É necessário um aquecimento que atinja o ponto exato, no local e momento precisos que você determinar, turno após turno.

O que importa sob o capô
Operamos lâmpadas certificadas de cura por infravermelho que fornecem energia NIR com uniformidade térmica a nível do wafer de ±0,1°C ao longo da aplicação, garantindo que os perfis de fotorresiste permaneçam dentro do orçamento térmico. Emissores de quartzo-halógeno mantêm a saída estável desde o soft bake até o hard bake, com perfis de rampa repetitivos que preservam o controle da dimensão crítica. O sistema é projetado para operação em sala limpa Classe 1–100, sem aumento de partículas na interface do processo e com conformidade total aos requisitos de segurança SEMI S2/S22 e EHS. Controle de temperatura em malha fechada, calibrado com padrões rastreáveis, assegura consistência no bake de lote em lote e de turno em turno.

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