Fabricação de carcaça de aquecedor em aço inoxidável

Wed, 03 Jun 2026 01:09:52 +0800

Outros do chão de fábrica, o desempenho da cura do fotoresiste se resume a nanômetros e minutos. Uma variação de 2°C durante o soft bake ou hard bake pode deslocar dimensões críticas, descartar um lote e consumir horas que não podem ser recuperadas. Projetamos nossas carcaças de aquecedor em aço inoxidável para eliminar essa variabilidade.

O que importa, tecnicamente
A carcaça é usinada em aço inox 316L — escolhido por sua compatibilidade com ambientes de vácuo e salas limpas, além de sua resistência à química corrosiva utilizada nessas ferramentas. Aquecedores integrados garantem uniformidade térmica ao nível do wafer dentro de ±0,1°C, com repetibilidade suficiente para manter os perfis de fotoresiste lote após lote.
Controlamos acabamentos superficiais e juntas para manter a geração de partículas próxima de zero, protegendo o rendimento em ambientes Classe 1–100. Os controles mantêm a temperatura estável 24 horas por dia, permitindo operação sem paradas inesperadas.

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Fabricação de carcaça de aquecedor em aço inoxidável