Precisie infraroodsensor voor wafers

Thu, 09 Jul 2026 15:08:48 +0800

Inleiding
Stel je voor: een lijn voor het verwerken van siliciumchips, waar de lucht vol zit met brandbare reinigingschemicaliën. Het is een omgeving waarin standaard verwarmingselementen nauwelijks kunnen functioneren.
Wij hebben onze infraroodverwarminglampen juist ontworpen voor zulke extreme omstandigheden. We hebben de warmtebron omhuld met een gespecialiseerd afsluitingssysteem, zodat de warmte op de juiste plek terechtkomt en vonken worden weggehouden van de omgevingslucht. Op deze manier kunt u precies de gewenste temperatuur bereiken bij de productie van halfgeleiders, zonder dat er risico’s van ontsteking zijn.

Hogeprecisietemperatuurregelaar

Thu, 02 Jul 2026 02:40:47 +0800

Op de afdeling voor lithografie leer je al snel dat een verschil van 1°C tijdens het verwarmen van de fotoresist niet alleen tot afwijkingen in het proces leidt, maar ook tot fouten bij het printen. En als er nog maar een dunne laag oppervlakte spanning op het gewicht blijft zitten, dan kunnen er deeltjes vast komen te zitten, waardoor de productiekwaliteit vermindert. Thermische controle is geen achtergrondfunctie; het is onderdeel van het proces zelf.

Wat technisch gezien belangrijk is: Onze korte-golflengte-infraroodverwarmers zorgen ervoor dat de temperatuur over het hele oppervlak van het gewicht binnen ±0,1°C blijft. De herhalbaarheid van de ingestelde temperatuur ligt op ±0,2°C. Het snelle temperatuurverloop verkort de verwerkingstijd, terwijl de gesloten-kontrolloop de temperatuur stabiel houdt, zelfs wanneer de deuren regelmatig worden geopend en gesloten. Het ontwerp zonder kwarts zorgt ervoor dat er geen deeltjes vrijkomen, zodat de omstandigheden voldoen aan de eisen van een schone ruimte van klasse 1–100. U kunt 24/7 op volle capaciteit werken, zonder onverwachte stilstanden. De MTBF-waarde is meer dan 10.000 uur.

Precisie on The Warm IR Heater Shop

Precisie infraroodsensor voor wafers

Hogeprecisietemperatuurregelaar