Oven met infraroodverwarmer voor schone ruimte

Mon, 27 Jul 2026 16:13:01 +0800

Standaard convectieovens zijn in feite gewoon grote dozen met hete lucht. In een halfgeleiderreinruimte is dat een nachtmerrie. Waarom? Omdat de hitte niet op één plek blijft. De hitte dringt door in de wanden van de apparatuur, waardoor het chassis zo heet wordt dat het pijn kan doen. Bovendien moet het HVAC-systeem hard werken om de luchtkwaliteit in de ruimte op peil te houden.

Een betere manier om hitte te verspreiden
Wij doen dit anders. In plaats van de lucht op te warmen, gebruiken we korte-golf infraroodlampen. Stel je voor dat het om een zaklamp gaat: de hitte beweegt zich in een rechte lijn, langs de lucht en de wanden van de oven heen, en bereikt rechtstreeks het te bewerken materiaal. De energie gaat precies waar het nodig is. Omdat de hitte zich niet door de ruimte verspreidt, wordt de buitenkant van de machine geen enorme radiator.

Verwarmingselement van LPCVD oven

Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800

Op de productievloer zie je hoe snel een goed verlopend proces kan veranderen in een hoop rommel. Een verschil van 0,3°C in de temperatuur in de LPCVD-oven is al voldoende om de gewenste dikte van het materiaal te verstoren. Wanneer de verwarmingselementen niet meer goed functioneren, neemt de thermische uniformiteit af. Hierdoor wordt ook de stoichiometrie van het materiaal verstoord, waardoor de lithografieprocesen worden beïnvloed. De tijd die nodig is voor het verwerken van het materiaal wordt korter, en de controle over de dikte van het materiaal wordt moeilijker. Ook de selectiviteit van het etchproces neemt af.

Oven on The Warm IR Heater Shop

Oven met infraroodverwarmer voor schone ruimte

Verwarmingselement van LPCVD oven