Lampu penyembuhan inframerah yang disahkan

Wed, 10 Jun 2026 01:30:52 +0800

Di lantai fabrikasi, anda tahu dengan tepat apa yang boleh berlaku akibat kenaikan 1°C semasa proses pembakaran photoresist—ia boleh mengubah garis lebar sehingga menyebabkan banyak produk rosak. Anda memerlukan haba yang tepat sasaran, tepat di lokasi dan masa yang anda tetapkan, dari satu penggiliran ke penggiliran berikutnya.

Apa yang penting di sebalik tabir
Kami menggunakan lampu penyembuhan inframerah yang bersijil, yang menghantar tenaga NIR dengan seragam terma pada tahap wafer ±0.1°C merentasi tembakan, supaya profil photoresist anda berada dalam had termal yang ditetapkan. Pemancar kuarza-halogen mengekalkan output yang stabil dari soft bake hingga hard bake, dengan profil kenaikan suhu yang boleh diulang untuk memastikan kawalan dimensi kritikal terpelihara. Sistem ini dibina untuk operasi bilik bersih Kelas 1–100, dengan peningkatan zarah sifar di antara muka proses dan mematuhi sepenuhnya keperluan keselamatan dan EHS SEMI S2/S22. Kawalan suhu gelung tertutup yang dikalibrasi mengikut piawaian boleh jejak memastikan konsistensi pembakaran antara lot dan penggiliran.

Mengubati on The Warm IR Heater Shop

Lampu penyembuhan inframerah yang disahkan