http://warm-ir-heater-shop.com/ko/tags/%EC%98%A8%EB%8F%84/ Recent content in 온도 on The Warm IR Heater Shop Hugo ko Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="웨이퍼 처리 장비용 온도 센서"></p> <p><strong>왜 금 코팅된 반사체가 웨이퍼에 있어서 그토록 중요한지</strong> 반도체 제조 과정에서 열 손실은 큰 문제입니다. 열 손실로 인해 생산 효율이 떨어집니다. 실리콘 웨이퍼의 온도를 정확하게 조절하려 할 때, 적외선 에너지가 장비 내부로 새어 나가는 것을 막는 것이 가장 중요합니다. 그건 단순히 낭비되는 에너지일 뿐입니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 금 코팅된 반사체를 사용합니다. 이 반사체는 에너지를 다시 원래 있어야 할 곳, 즉 기판 위로 보내줍니다.</p> http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ Thu, 02 Jul 2026 02:40:47 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="고정밀 온도 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 소프트 베이크할 때 1°C 정도의 온도 변동만으로도 공정이 제대로 진행되지 않는다는 것을 금방 알게 됩니다. 이러한 온도 변동은 회로선의 선폭에 영향을 주어 최종 제품의 품질을 크게 저하시킬 수 있습니다. 또한, 웨이퍼가 완전히 건조되지 않고 표면에 약간의 수분이 남아 있다면, 그로 인해 입자들이 웨이퍼 표면에 달라붙어 생산 효율이 떨어집니다. 따라서 열 제어는 단순한 부수적인 기능이 아니라, 공정 자체의 핵심 요소입니다.</p>