http://warm-ir-heater-shop.com/ko/tags/%EC%98%88%EB%B0%A9/ Recent content in 예방 on The Warm IR Heater Shop Hugo ko Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/preventing-wafer-warping-with-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/preventing-wafer-warping-with-infrared/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="적외선을 이용한 웨이퍼 휨 방지"></p> <p>라인에서 왜곡된 웨이퍼는 단순한 폐기물이 아닙니다. 이는 수율에 대한 직접적인 타격이며, 일정 관리에 대한 골칫거리가 됩니다. 대류 오븐은 열 관성 및 기울기를 극복할 수 없습니다. 결과적으로 일관되지 않은 포토레지스트 프로필과 필름 스택에 잠긴 스트레스가 발생합니다. 적외선 가열은 필요한 지점에 정확히 에너지를 방출하여 이 문제를 해결합니다.</p>