http://warm-ir-heater-shop.com/ko/tags/%EA%B1%B4%EC%A1%B0%EA%B8%B0/ Recent content in 건조기 on The Warm IR Heater Shop Hugo ko Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ko/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="DNS(스크린) 웨이퍼 건조기용 램프"></p> <p>리소그래피 라인에서는 포토레지스트를 가열하는 과정을 단순한 ‘가열’로 여기지 않습니다. 이는 사실상 치수 제어에 해당합니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생기면, 제품의 중요한 치수들이 변하게 됩니다. 또한, 균일하지 않은 온도 분포는 에지 비드 문제나 수율 저하로 이어집니다. DNS 스크린 웨이퍼 건조기의 램프는 바로 이러한 현실을 고려하여 설계되었습니다. 즉, 반도체 제조 공정의 요구사항에 맞춰 열 제어가 이루어집니다.</p>