http://warm-ir-heater-shop.com/ja/tags/rtp/ Recent content in RTP on The Warm IR Heater Shop Hugo ja Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="マットソンRTPランプ交換"></p> <h1 id="ファブフロアにおける熱異常は理論上の話ではない廃棄ウェハ破損したフォトレジストプロファイルライン全体に波及する歩留まり低下として現れるmattsonのrtpツールのランプが経年劣化すると温度均一性がずれプロセスウィンドウが狭まるこのズレを元から止めるために交換用ランプシステムを開発した">ファブフロアにおける熱異常は理論上の話ではない。廃棄ウェハ、破損したフォトレジストプロファイル、ライン全体に波及する歩留まり低下として現れる。MattsonのRTPツールのランプが経年劣化すると、温度均一性がずれ、プロセスウィンドウが狭まる。このズレを元から止めるために<a href="https://goldisgood.com">交換用</a>ランプシステムを開発した。</h1> <p><strong>技術的に重要な点</strong><br> ランプは高純度石英封入の短波長ハロゲン要素を使用し、熱予算を超えずに高速昇温を実現している。プロセスゾーン全体でウェハレベルの均一性は±0.1℃以内に保持され、サイクル間の再現性は0.2℃に安定している。250℃から650℃の範囲で安定稼働し、サブ秒応答性能を持つため、スパイクアニールやフォトレジストベーク工程で<a href="https://o-yate.net">有効</a>である。クラス1–100のクリーンルーム対応で、パーティクル発生ゼロ、Mattsonツールにマッチしたコネクタインターフェースを備えている。</p>