IR on The Warm IR Heater Shop

IRエミッタ用セラミックエンドキャップ

Thu, 16 Jul 2026 01:23:58 +0800

クラス100のクリーンルームを運用しているなら、ご存知の通り、わずかなほこりでも大問題になります。
問題は、一般的なIRランプが実質的に「汚染源」となってしまうことです。これらのランプでは安価な接着剤や樹脂、低品質の金属が使用されており、温度が上がるとすぐに剥がれ落ちたり、有害なガスを放出したりします。目に見えないかもしれませんが、製品に悪影響を与えます。
私たちは、そうした問題を解決するために、安価な部品を使わず、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを使用しています。

IRランプ用アルミニウム反射板

Mon, 13 Jul 2026 16:34:54 +0800

クリーンルームを壊さずにIR加熱を利用する方法
クラス100の環境で作業を行う場合、熱は非常に厄介な要素です。単に適切な温度を保つだけでは不十分で、空気が完全に清潔であることも重要です。
問題は、一般的なIRランプは「汚れやすい」という点です。反射器から微小な粒子が放出されてしまいます。もしそうした粒子がウェーハや光学部品に付着してしまったら、大変なことになります。
私たちは、高純度の石英製のケースと、特別に設計されたアルミニウム製の反射器を組み合わせることで、この問題を解決しました。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 09 Jul 2026 15:08:48 +0800

はじめに

想像してみてください。空気中に可燃性の洗浄剤が満ちたウェーハ処理ラインの光景です。こうした環境では、一般的な加熱素子はすぐに機能を失ってしまいます。
私たちが開発した赤外線加熱ランプは、まさにこのような過酷な環境に対応するために作られました。加熱源を特殊なカプセル化システムで覆うことで、熱を必要な場所にだけ集中させ、火花が外部に漏れ出るのを防ぎます。これにより、半導体製造に必要な正確な温度制御が可能になり、点火の危険もなくなります。

ウェーハ用のIR用コンフォルムコーティング

Sat, 27 Jun 2026 01:06:14 +0800

300mmウエハーの場合、ウエハー全体で0.3℃の温度変動があれば、クリティカルサイズに影響が出ます。一度でも計画外の停止が起きれば、1ヶ月分の熱管理コストが一瞬で無駄になってしまいます。ウエハーのIR対応用コーティングは、単なるオプションではありません。これは、何回繰り返してもリソグラフィーやフォトレジスト処理を所定の範囲内に保つための重要な要素です。