http://warm-ir-heater-shop.com/ja/tags/%E7%B2%BE%E5%BA%A6/ Recent content in 精度 on The Warm IR Heater Shop Hugo ja Thu, 09 Jul 2026 15:08:48 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Thu, 09 Jul 2026 15:08:48 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <h2 id="はじめに">はじめに</h2> <p>想像してみてください。空気中に可燃性の洗浄剤が満ちたウェーハ処理ラインの光景です。こうした環境では、一般的な<a href="https://o-yate.net">加熱</a>素子はすぐに機能を失ってしまいます。<br> 私たちが開発した赤外線加熱ランプは、まさにこのような過酷な環境に対応するために作られました。加熱源を特殊なカプセル化システムで覆うことで、熱を必要な場所にだけ集中させ、火花が外部に漏れ出るのを防ぎます。これにより、半導体製造に必要な正確な温度制御が可能になり、点火の危険もなくなります。</p> http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ Thu, 02 Jul 2026 02:40:47 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="高精度温度ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動が生じると、単に工程がずれるだけでなく、<a href="https://henruite.com">回路線幅</a>にも影響を与え、最悪の場合は全ての製品が不良になってしまいます。また、ウエハーの乾燥処理時に表面張力による薄い膜が残っていると、粒子が付着してしまい、歩留まりが低下します。したがって、温度制御は単なる補助的な機能ではなく、工程自体の重要な要素です。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>当社の短波赤外線ヒーターは、チャック全体でウエハーの温度を±0.1℃以内に保ち、設定値の再現性も±0.2℃以内です。迅速な温度上昇によりサイクルタイムが短縮され、ドアが開閉しても温度が安定します。また、石英を使用しない発光素子の設計により、粒子の発生が防がれ、クリーンルームのクラス1～100の基準を満たします。MTBFは10,000時間以上であり、24時間365日、<a href="https://o-yate.com">計画外</a>の停止なく運用できます。</p>