http://warm-ir-heater-shop.com/ja/tags/%E7%94%BB%E9%9D%A2/ Recent content in 画面 on The Warm IR Heater Shop Hugo ja Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/dns-screen-wafer-dryer-lamp/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="DNS スクリーン ウェーハ乾燥ランプ"></p> <p>リソグラフィーラインにおいては、フォトレジストの加熱処理を単なる「加熱」として扱うことはありません。これは、単純に寸法制御の問題です。ソフトバーンやハードバーン時の温度変化が1℃でもあれば、<a href="https://henruite.com">重要</a>な寸法が変わってしまいます。また、均一でない温度分布は、エッジビードの発生や歩留まりの低下を招く原因となります。DNSスクリーンウェーハドライヤーのランプは、このような現実を踏まえて設計されており、半導体製造工程の要求に応えるための厳格な温度制御が施されています。</p>