http://warm-ir-heater-shop.com/ja/tags/%E7%82%89/ Recent content in 炉 on The Warm IR Heater Shop Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/lpcvd-furnace-heating-element/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="LPCVD炉の加熱素子"></p> <p>製造現場では、うまくいっている工程が一瞬にして失敗に終わってしまうこともあります。LPCVD炉の温度制御において、わずか0.3℃のずれだけで、目標とする薄膜の厚さが基準値から外れてしまいます。加熱要素の性能が低下すると、温度の均一性が失われ、ドーピングや成膜の過程にも影響が出てきます。その結果、リソグラフィー工程にも悪影響が及びます。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの条件が厳しくなり、CDコントロールも難しくなります。また、エッチングの選択性も変動し始めます。</p>