http://warm-ir-heater-shop.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on The Warm IR Heater Shop Hugo ja Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/temperature-sensor-for-wafer-tool/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハ加工ツール用温度センサー"></p> <p>なぜ金コーティングされた反射器がウェハーにとって重要なのか<br> 半導体加工の世界では、熱の損失は大きな問題です。それによって処理効率が低下してしまいます。シリコンウェハーの温度を正確に制御しようとするとき、赤外線エネルギーが装置の筐体内に漏れ出すことは避けたいものです。それは無駄なエネルギーの消費に他なりません。</p> http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ Thu, 02 Jul 2026 02:40:47 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/high-precision-temperature-heater/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="高精度温度ヒーター"></p> <p>リソグラフィー工程では、フォトレジストのソフトベイク時に1℃の温度変動が生じると、単に工程がずれるだけでなく、<a href="https://henruite.com">回路線幅</a>にも影響を与え、最悪の場合は全ての製品が不良になってしまいます。また、ウエハーの乾燥処理時に表面張力による薄い膜が残っていると、粒子が付着してしまい、歩留まりが低下します。したがって、温度制御は単なる補助的な機能ではなく、工程自体の重要な要素です。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>当社の短波赤外線ヒーターは、チャック全体でウエハーの温度を±0.1℃以内に保ち、設定値の再現性も±0.2℃以内です。迅速な温度上昇によりサイクルタイムが短縮され、ドアが開閉しても温度が安定します。また、石英を使用しない発光素子の設計により、粒子の発生が防がれ、クリーンルームのクラス1～100の基準を満たします。MTBFは10,000時間以上であり、24時間365日、<a href="https://o-yate.com">計画外</a>の停止なく運用できます。</p>