加熱 on The Warm IR Heater Shop

ウェーハ加熱時の安全距離

Sun, 26 Jul 2026 09:37:59 +0800

適切な距離の設定：ウエハー用の赤外線加熱

もし、製造プロセスにおける炭素排出量を減らしたいと思っているなら、古い抵抗発熱体を短波長赤外線装置に置き換えることを検討してみてはどうでしょう。これは賢明な選択です。しかし、重要なのは、ランプとウエハーの間の距離をできるだけ狭くすることです。単にウエハーをより速く加熱するだけではありません。重要なのは、無駄にエネルギーが漏れ出し、チャンバーの壁が不要に加熱されるのを防ぐことです。

省エネ型半導体ヒーター

Mon, 20 Jul 2026 08:47:52 +0800

なぜ、鉛フリー基板の硬化に赤外線を利用するのか？
正直に言って、昔からある対流式オーブンというのは、もはや時代遅れです。現在の鉛フリーで環境に優しい基準を満たすためには、巨大な熱風室に頼るだけでは不十分です。
そのため、私たちは赤外線を使った硬化方式に切り替えました。対流式オーブンのように部屋全体やオーブンの内壁、空気全体を加熱するのではなく、赤外線は直接基板に作用します。これにより、エネルギーの無駄がなくなります。

LPCVD炉の加熱素子

Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800

製造現場では、うまくいっている工程が一瞬にして失敗に終わってしまうこともあります。LPCVD炉の温度制御において、わずか0.3℃のずれだけで、目標とする薄膜の厚さが基準値から外れてしまいます。加熱要素の性能が低下すると、温度の均一性が失われ、ドーピングや成膜の過程にも影響が出てきます。その結果、リソグラフィー工程にも悪影響が及びます。フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの条件が厳しくなり、CDコントロールも難しくなります。また、エッチングの選択性も変動し始めます。