交換 on The Warm IR Heater Shop

工業用ファブヒーターの交換

Sun, 05 Jul 2026 04:57:29 +0800

はじめに

さっそく本題に入りましょう。私たちは、業界で使われている従来の加熱装置を代替品として選び、工場内で実際にその性能を試すのです。つまり、大手メーカーの製品と直接競争するわけです。
これは単なるスペック表を見比べるだけの話ではありません。重要なのは、厳しい環境下で、私たちのハロゲンヒーターが高負荷のウェーハ製造ラインに対応できるかどうかを実証することです。つまり、実際に使ってみて、仕事をこなせるかどうかを確かめるのです。

技術的詳細：重要なスペック

要点はこうです。私たちのヒーターは400V、2500Wで動作します。これは、狭い空間に大量のエネルギーが集中していることを意味し、機器の占有スペースを最小限に抑えつつ、必要な熱量を供給できます。
また、300mmのチューブ長も標準的なサイズです。そのため、交換も簡単で、短時間で再稼働できます。

マットソンRTPランプ交換

Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800

ファブフロアにおける熱異常は理論上の話ではない。廃棄ウェハ、破損したフォトレジストプロファイル、ライン全体に波及する歩留まり低下として現れる。MattsonのRTPツールのランプが経年劣化すると、温度均一性がずれ、プロセスウィンドウが狭まる。このズレを元から止めるために交換用ランプシステムを開発した。

技術的に重要な点
ランプは高純度石英封入の短波長ハロゲン要素を使用し、熱予算を超えずに高速昇温を実現している。プロセスゾーン全体でウェハレベルの均一性は±0.1℃以内に保持され、サイクル間の再現性は0.2℃に安定している。250℃から650℃の範囲で安定稼働し、サブ秒応答性能を持つため、スパイクアニールやフォトレジストベーク工程で有効である。クラス1–100のクリーンルーム対応で、パーティクル発生ゼロ、Mattsonツールにマッチしたコネクタインターフェースを備えている。