http://warm-ir-heater-shop.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェハー on The Warm IR Heater Shop Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/preventing-wafer-warping-with-infrared/ Sat, 06 Jun 2026 00:53:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/ja/posts/preventing-wafer-warping-with-infrared/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="赤外線によるウェーハの歪み防止"></p> <p>ライン上で、反りのあるウェハは単なるスクラップではない。歩留まりに直接的な打撃を与え、スケジュールにも頭痛の種となる。<br> 対流炉では熱慣性や温度勾配を解消できず、フォトレジストプロファイルが<a href="https://o-yate.net">不均一</a>となり、フィルムスタックにストレスが残留する。赤外線加熱は、必要な場所に必要なタイミングでエネルギーを注入することでこれを解消する。</p>