Soccorso per lampada a infrarossi per strumento per wafer

Sat, 20 Jun 2026 01:44:32 +0800

Nelle linee di produzione, si sa quanto velocemente le cose possano sfuggire al controllo. Un leggero cambiamento nella temperatura di cottura può far sì che il profilo del fotorestatico non rispetti le specifiche richieste. In tal caso, la linea di produzione si ferma. Abbiamo progettato il connettore per le lampade a infrarossi in modo da mantenere costante il comportamento termico, ciclo dopo ciclo.

Ciò che è importante
Il connettore abbinato agli emittenti a infrarossi a onde corte a una lampada allogenica in quarzo e a un corpo in ceramica a bassa emissione di gas, permette di mantenere la temperatura entro ±0,1°C su tutta la superficie del wafer. La precisione della temperatura di cottura rimane comunque entro ±0,05°C. I materiali utilizzati sono adatti per ambienti di tipo Class 1–100, e il design del connettore evita la formazione di particelle durante il funzionamento. L’alimentazione avviene tramite un connettore progettato per funzionare 24/7, e il profilo termico rimane costante dal primo al último wafer trattato.

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