Sensor di temperatura per strumento a wafer

Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800

Perché i riflettori rivestiti d’oro sono davvero importanti per le vostre wafer
Nel mondo della lavorazione dei semiconduttori, la perdita di calore rappresenta un vero problema. Questo riduce l’efficienza del processo di produzione. Quando si cerca di mantenere una temperatura precisa sulla superficie della wafer di silicio, l’ultima cosa che si vuole è che l’energia infrarossa vada persa nel corpo macchina stesso. Si tratta quindi di energia sprecata.

Utilizziamo riflettori rivestiti d’oro per evitare questa situazione. Essi permettono di riindirizzare l’energia esattamente dove dovrebbe andare: direttamente sul substrato.

Soccorso per lampada a infrarossi per strumento per wafer

Sat, 20 Jun 2026 01:44:32 +0800

Nelle linee di produzione, si sa quanto velocemente le cose possano sfuggire al controllo. Un leggero cambiamento nella temperatura di cottura può far sì che il profilo del fotorestatico non rispetti le specifiche richieste. In tal caso, la linea di produzione si ferma. Abbiamo progettato il connettore per le lampade a infrarossi in modo da mantenere costante il comportamento termico, ciclo dopo ciclo.

Ciò che è importante
Il connettore abbinato agli emittenti a infrarossi a onde corte a una lampada allogenica in quarzo e a un corpo in ceramica a bassa emissione di gas, permette di mantenere la temperatura entro ±0,1°C su tutta la superficie del wafer. La precisione della temperatura di cottura rimane comunque entro ±0,05°C. I materiali utilizzati sono adatti per ambienti di tipo Class 1–100, e il design del connettore evita la formazione di particelle durante il funzionamento. L’alimentazione avviene tramite un connettore progettato per funzionare 24/7, e il profilo termico rimane costante dal primo al último wafer trattato.

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Sensor di temperatura per strumento a wafer

Soccorso per lampada a infrarossi per strumento per wafer