Elemento riscaldante del forno LPCVD

Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800

Nelle condizioni di produzione, si sa quanto velocemente una fase di processamento possa trasformarsi in un disastro. Un cambiamento di soli 0,3°C nel profilo di temperatura del forno LPCVD è sufficiente per far sì che lo spessore del film ottenuto non rispetti i parametri richiesti. Quando l’elemento riscaldante inizia a funzionare in modo insufficiente, la uniformità termica diminuisce, e ne conseguono problemi nella dosaggio dei materiali utilizzati per il deposito del film. Anche la qualità della fotopolimerizzazione ne risente: i tempi necessari per la fotopolimerizzazione si riducono, mentre il controllo dello spessore del film diventa più difficile. Inoltre, la selettività dell’etching peggiora.

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