Fabbricazione della carcassa del riscaldatore in acciaio inox

Wed, 03 Jun 2026 01:09:52 +0800

Out on the fab floor, le prestazioni di cottura del fotoresist si misurano in nanometri e minuti. Una variazione di 2°C durante il soft bake o l’hard bake può modificare le dimensioni critiche, compromettere un lotto e far perdere ore irrecuperabili. Abbiamo progettato le nostre custodie riscaldanti in acciaio inox per eliminare questa variabilità.

Cosa conta, tecnicamente
La custodia è lavorata da acciaio inox 316L, scelto per la sua compatibilità con ambienti a vuoto e camere bianche, oltre che per la resistenza alla chimica corrosiva utilizzata in questi strumenti. I riscaldatori integrati garantiscono un’uniformità termica a livello wafer entro ±0,1°C, con una ripetibilità sufficientemente rigorosa da mantenere costanti i profili di fotoresist lotto dopo lotto.
Controlliamo le finiture superficiali e le giunzioni per mantenere la generazione di particelle il più vicino possibile allo zero, proteggendo la resa in ambienti Class 1–100. I controlli mantengono la temperatura stabile 24 ore su 24, permettendo operazioni senza fermi imprevisti.

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Fabbricazione della carcassa del riscaldatore in acciaio inox