Hentikan penggunaan elemen pemanas biasa (dan gunakanlah lampu inframerah yang dapat mengarahkan panas ke satu titik tertentu).
Sebagian besar elemen pemanas biasa memancarkan energi ke segala arah—sekitar 360 derajat. Di pabrik semikonduktor, hal ini merupakan masalah besar. Ketika energi panas tidak diarahkan ke satu titik tertentu, dinding-dinding peralatan yang mahal tersebut akan menyerap seluruh energi yang terbuang tersebut. Akibatnya, dinding-dinding tersebut menjadi sangat panas. Hal ini tentu saja merepotkan para operator mesin, dan juga merusak stabilitas termal peralatan tersebut.
Inilah cara kita memperbaiki masalah tersebut.
Kami menggunakan lampu inframerah yang dapat mengarahkan panas ke satu titik tertentu. Alih-alih menggunakan tabung kuarsa biasa, kami menggunakan emitter yang dilapisi khusus serta reflektor yang efektif. Bayangkan saja, ini sama seperti mengganti bohlam biasa dengan senter. Radiasi inframerah akan dikirim tepat ke targetnya, yaitu wafer atau substratnya. Karena sinarnya bersifat terfokus, energi panas tidak akan mengenai badan mesin. Panasnya langsung masuk ke bahan kerja, bukan ke bagian mesin itu sendiri. Sangat menyenangkan ketika kita bisa menyentuh dinding peralatan saat proses berlangsung dalam kondisi suhu tinggi, dan dinding tersebut tetap dingin.
Bagaimana cara memasangnya?
Lampu-lampu ini dirancang untuk digunakan sebagai pengganti yang mudah. Anda tidak perlu merombak ruang produksi atau membuat perlindungan termal dari awal. Cukup pasang saja lampu tersebut.
Perhatian penting: Ketika energi inframerah difokuskan ke satu titik, intensitas panasnya akan meningkat. Anda perlu memeriksa ulang pengontrol PID Anda. Jika sensor Anda tidak disetel dengan benar, suhu bisa melebihi batas yang ditentukan, sehingga wafer bisa rusak. Ini merupakan masalah yang mudah diatasi, tetapi sangat penting untuk diperhatikan.
Apa dampaknya bagi proses produksi?
Dengan menggunakan sistem pemanasan yang terarah ini, Anda tidak perlu lagi menggunakan kipas pendingin yang berukuran besar atau sistem pendingin cair yang merepotkan. Peralatan akan menggunakan ruang yang lebih sedikit. Lingkungan produksi pun akan tetap stabil. Yang paling penting, teknisi dapat bergerak di sekitar peralatan tanpa khawatir terbakar saat melakukan penyesuaian manual. Dengan demikian, lingkungan kerja akan menjadi lebih aman dan terkendali.