परिचय कल्पना कीजिए – ऐसी प्रक्रिया-लाइन जहाँ हवा में ज्वलनशील रसायनों की मात्रा बहुत अधिक है। ऐसे वातावरण में सामान्य हीटिंग उपकरण तुरंत ही काम करना...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, जल्द ही यह समझ में आ जाता है कि फोटोरेजिस्ट को नरम करने की प्रक्रिया के दौरान 1°C का अंतर भी प्रक्रिया को बिगाड़ सकता है;...