तत्व on The Warm IR Heater Shop

ग्लोवबॉक्स इन्फ्रारेड हीटर एलिमेंट

Wed, 22 Jul 2026 02:23:09 +0800

अपने ग्लोवबॉक्स की दीवारों को गर्म न करें।

जिन लोगों ने सेमीकंडक्टर ग्लोवबॉक्सों का उपयोग किया है, वे इस समस्या से अच्छी तरह परिचित हैं। आपको ग्लोवबॉक्स के अंदरूनी हिस्सों को गर्म करना होता है, लेकिन आप नहीं चाहते कि बाहरी दीवारें भी गर्म हो जाएँ।
यदि आप सामान्य कंवेक्शन हीटरों का उपयोग करते हैं, तो वे सिर्फ हवा को ही गर्म करते हैं। यह गर्म हवा सब कुछ को प्रभावित करती है – केसिंग, सील, ऑपरेटर की बाँह आदि। इससे बहुत ही परेशानी होती है… ऐसे में सीलें खराब हो सकती हैं, या किसी को चोट भी लग सकती है।
हमने एक बेहतर तरीका खोजा है – डायरेक्शनल इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग।

LPCVD भट्टी के हीटिंग तत्व/उपकरण

Sun, 21 Jun 2026 01:58:15 +0800

फैब फ्लोर पर, आप जानते ही हैं कि किस हद तक एक अच्छी प्रक्रिया भी असफल हो सकती है। LPCVD फर्नेस में 0.3°C का थोड़ा सा बदलाव भी महत्वपूर्ण मापदंडों को प्रभावित कर सकता है। जब हीटिंग एलिमेंट का प्रदर्शन कमजोर हो जाता है, तो ऊष्मा-समानता खत्म हो जाती है; इसके परिणामस्वरूप डोपिंग एवं डिपोजिशन प्रक्रियाओं में बदलाव हो जाता है, और लिथोग्राफी प्रक्रिया भी प्रभावित हो जाती है। फोटोरेजिस्ट को सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक करने की प्रक्रिया भी प्रभावित हो जाती है; CD नियंत्रण भी कठिन हो जाता है, एवं एच चुनिंदगी भी प्रभावित हो जाती है।

ऑक्सफोर्ड इंस्ट्रूमेंट्स हीटर तत्व

Fri, 05 Jun 2026 01:07:03 +0800

लिथोग्राफी फ़्लोर पर

बेक स्टेप केवल एक विराम नहीं है—यह एक सहिष्णुता है जिस पर आप निर्भर करते हैं। सॉफ्ट बेक और हार्ड बेक तापमान में अंतर आता है, और अचानक आपका क्रिटिकल डाइमेंशन कंट्रोल गायब हो जाता है इससे पहले कि एचटच शुरू हो। जब थर्मल यूनिफॉर्मिटी असामान्य होती है, तो आप केवल उपज नहीं खोते हैं। आप समय-सीमा भी खोते हैं।

क्या वास्तव में महत्वपूर्ण है हमने ऑक्सफोर्ड इंस्ट्रूमेंट्स हीटर तत्व को नियंत्रित इन्फ्रारेड ऊर्जा के चारों ओर बनाया है, जो वाफर की गर्मी के प्रति प्रतिक्रिया के अनुसार समायोजित है। इसका लाभ यह है कि यह बेक सतह पर वाफर-स्तरीय यूनिफॉर्मिटी ±0.1°C के भीतर प्रदान करता है, और यह पुनरावृत्ति को बनाए रखता है जो रन-टू-रन प्रदर्शन को कड़े थर्मल बजट के भीतर रखता है। यह तत्व क्लास 1–100 वातावरण में साफ चलता है—डिज़ाइन के अनुसार शून्य कण उत्पादन, और फोटोरेजिस्ट को दूषित करने के लिए कोई आउटगैसिंग नहीं। यह उच्च तापमान पर स्थिर रहता है, दिन-ब-दिन, बिना हीटर-प्रेरित अप्रत्याशित डाउनटाइम के।