נורת יבוש של וופרי DNS (Screen)

Wed, 24 Jun 2026 00:42:53 +0800

בקו הליתוגרפיה, אנו איננו רואים בתהליך החימום של הפוטורזיסט כ”רק חימום”. זו למעשה בקרה על הממדים – דבר פשוט אך חיוני. שינוי של 1 מעלה צלזיוס בתהליך החימום עלול לגרום לשינוי בממדים החיוניים של השבב, ופרופיל לא אחיד עלול לגרום לבעיות בקצוות השבב ולירידה באיכות התוצר. נורת הייבוש של DNS תוכננה תוך התחשבות בעובדה זו – בקרה תרמית שנועדה לעמוד בדרישות תהליכי הייצור של השבבים.

מה חשוב מבחינה טכנית? הנורה משתמשת באינפרא-אדום באורך גל קצר, שמותאם לתגובה התרמית של הפוטורזיסט. כך ניתן להשיג חימום מהיר ובקרה מדויקת של הטמפרטורה. האחידות בטמפרטורה ברמת השבב נשמרת בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס, מה שאומר שכל חלק של השבב מקבל את אותו תנאי תרמי. יכולת התאמה לסביבות נקיות אינה דבר נוסף – המכשיר תוכנן לשימוש בסביבות מסוג Class 1–100, עם חומרים וחוסמים שמונעים ייצור של חלקיקים. החזריות של המכשיר נובעת מבקרה בלולאה סגורה ומהפקת אור יציבה לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי בעוצמת האור של פחות מ-5%.

(מסך) on The Warm IR Heater Shop

נורת יבוש של וופרי DNS (Screen)