Capteur de température pour outil de wafer

Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800

Pourquoi les réflecteurs revêtus d’or sont vraiment importants pour vos wafers
Dans le monde du traitement des semi-conducteurs, la perte de chaleur est un véritable problème. Elle entraîne une diminution de l’efficacité de production. Lorsque l’on cherche à maintenir des températures précises sur une feuille de silicium, la dernière chose dont on a besoin, c’est que l’énergie infrarouge s’échappe vers le châssis de l’appareil. C’est de l’énergie gaspillée.

Nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or pour empêcher cela. Ils forcent l’énergie à retourner là où elle doit être : directement sur le substrat.

Prise pour lampe infrarouge pour outil à wafer

Sat, 20 Jun 2026 01:44:32 +0800

Dans l’usine de fabrication, on sait à quel point les choses peuvent mal tourner rapidement. Un léger écart de température de cuisson de quelques degrés suffit pour que le profil du photorésistant ne corresponde plus aux spécifications requises. La ligne de production s’arrête alors. Nous avons conçu ce support pour lampes infrarouges afin de garantir une stabilité thermique constante, d’un cycle de production à l’autre.

Ce qui est important en réalité
Ce support associe des émetteurs infrarouges à ondes courtes à une lampe halogène au quartz, ainsi qu’à un corps en céramique qui minimise les émissions de gaz. La température de cuisson reste stable entre ±0,1°C sur toute la surface de la puce, et la précision de réglage de la température est de ±0,05°C. Les matériaux utilisés sont adaptés aux conditions exigées dans des salles propres de classe 1–100. De plus, le design de ce support ne produit aucune particule lors de son utilisation. L’énergie nécessaire est fournie par un connecteur conçu pour fonctionner 24/7. Le profil thermique reste donc constant, de la première puce à la dernière.

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Capteur de température pour outil de wafer

Prise pour lampe infrarouge pour outil à wafer