Fabrication de boîtiers de chauffage en acier inoxydable

Wed, 03 Jun 2026 01:09:52 +0800

Sur le plancher de production, la performance du séchage du photoresist se mesure en nanomètres et en minutes. Une dérive de 2°C pendant le soft bake ou le hard bake peut décaler les dimensions critiques, compromettre un lot et entraîner la perte d’heures irrécupérables. Nous avons conçu nos boîtiers chauffants en acier inoxydable pour éliminer cette variabilité.

Ce qui importe, techniquement
Le boîtier est usiné en acier inoxydable 316L — sélectionné pour sa compatibilité avec le vide et les environnements de salle blanche, ainsi que pour sa résistance à la chimie corrosive utilisée dans ces équipements. Les chauffages intégrés assurent une uniformité thermique au niveau de la plaquette dans une tolérance de ±0,1°C, avec une répétabilité suffisamment serrée pour maintenir les profils de photoresist lot après lot.
Nous contrôlons les finitions de surface et les jonctions afin de minimiser la génération de particules, limitant celle-ci presque à zéro, ce qui protège le rendement dans des salles blanches de classes 1 à 100. Les contrôles garantissent une température stable en continu, permettant un fonctionnement sans arrêts imprévus.

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