http://warm-ir-heater-shop.com/fa/tags/%D8%A2%D8%B1-%D8%AA%DB%8C-%D9%BE%DB%8C/ Recent content in آر تی پی on The Warm IR Heater Shop Hugo fa Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/fa/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Sun, 07 Jun 2026 01:03:56 +0800 http://warm-ir-heater-shop.com/fa/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://warm-ir-heater-shop.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="تعویض لامپ RTP متسون"></p> <p>On the fab <a href="https://goldisgood.com">floor</a>، انحرافات حرارتی صرفاً نظری نیستند. این موضوعات به صورت ویفرهای دورریز، پروفیل‌های فوتورزیست آسیب‌دیده و کاهش بازده که در خطوط تولید تأثیر می‌گذارد، خود را نشان می‌دهند. وقتی لامپ در ابزار <a href="https://henruite.com">Mattson</a> RTP شما کهنه می‌شود، یکنواختی دما جابجا می‌شود و پنجره فرآیندی محدودتر می‌شود. ما یک سیستم لامپ جایگزین ساختیم تا این انحراف را از منبع متوقف کنیم.</p> <p><strong>نکات فنی مهم</strong><br> لامپ از المان‌های هالوژنی کوتاه‌موج داخل یک محفظه کوارتز با خلوص بالا استفاده می‌کند، که نرخ افزایش دما را سریع می‌دهد بدون اینکه بودجه حرارتی شما را بیش از حد مصرف کند. در سراسر زون فرآیندی، یکنواختی در سطح ویفر در محدوده ±0.1°C باقی می‌ماند و تکرارپذیری سیکل به سیکل در حدود 0.2°C پا برجاست. این سیستم به طور پایدار از 250°C تا 650°C کار می‌کند و پاسخ‌دهی زیر ثانیه‌ای دارد—که برای مراحل انیل اسپایک و پخت فوتورزیست مفید است. مجموعه لامپ برای بهره‌برداری در اتاق تمیز کلاس 1–100 طراحی شده و هیچ ذره‌ای تولید نمی‌کند و رابط کانکتور آن با ابزار Mattson هماهنگ است.</p>