دست از هدر دادن گرما بردارید: چرا لامپهای دو لولهای با پوشش طلا واقعاً مؤثر هستند
اگر قصد گرم کردن ویفرهای نیمههادی را دارید و انرژی زیادی به هوای اطراف تلف میشود، طراحی سیستم شما مانعی بر سر راه شما خواهد بود.
اکثر لامپهای کوارتز استاندارد، گرما را در تمام جهات پخش میکنند؛ در فضاهای تنگ، این موضوع مشکلساز است. بخش عمدهای از انرژی گرانقیمت، صرف گرم کردن بدنه لامپ یا از بین رفتن در هوای اطراف میشود. ما این مشکل را با استفاده از لامپهای دو لولهای با پوشش طلا حل کردیم؛ این لامپها گرما را دقیقاً به جایی که لازم است، یعنی روی سطح ویفر، هدایت میکنند.
جادوی پوشش طلا
طلا در بازتاب انرژی مادون قرمز بسیار مؤثر است. با اضافه کردن یک لایه نازک طلا به پشت لامپ، میتوانیم لامپ را به یک منبع نور برای گرم کردن تبدیل کنیم.
به جای تابش گرما در تمام جهات، طلا فوتونهای موجود در پشت لامپ را به سمت جلو هدایت میکند؛ در نتیجه، پرتوی گرما متمرکز روی سطح ویفر ایجاد میشود. این روش ساده است؛ هر وات انرژی که خرج میکنید، واقعاً به گرم کردن ویفر کمک میکند، نه فقط گرم کردن بدنه ماشین.
چرا استفاده از ساختار دو لولهای مهم است
ما از ساختار دو لولهای استفاده میکنیم؛ زیرا این ساختار، سطح رشتههای الکتریکی لامپ را دوبرابر میکند، بدون اینکه فضای بیشتری را اشغال کند.
این موضوع برای سختافزار بسیار مهم است؛ شما میتوانید توان لامپ را افزایش دهید، بدون اینکه رشتههای الکتریکی لامپ دچار آسیب شوند؛ در نتیجه، نیاز به تعویض لامپهای خراب کمتر خواهد بود. علاوه بر این، میزان گرمای وارد شده به ویفر نیز افزایش مییابد؛ در نتیجه، زمان لازم برای گرم کردن ویفر به طور قابل توجهی کاهش مییابد.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
البته، استفاده از این نوع لامپها دارای معایبی نیز هست.
از آنجایی که پوشش طلا گرما را به شدت متمرکز میکند، باید از کنترلکنندههای PID با دقت استفاده کنید. اگر فاصله بین لامپها خیلی کم باشد، ممکن است نقاط داغی ایجاد شود یا حتی ویفر آسیب ببیند. همچنین، باید مطمئن شوید که سیستم خنککننده میتواند بار وارد شده بر لامپها را تحمل کند؛ در غیر این صورت، کل سیستم ممکن است دچار اختلال شود.
ما این لامپها را به عنوان جایگزینی برای خطوط تولید با ظرفیت بالا طراحی کردهایم؛ در این خطوط، نمیتوان اجازه داد که گرمایش نامتوازن باشد. با تنظیم صحیح فاصله بین لامپها، میتوانید هزینههای برق خود را کاهش دهید، در حالی که دمای سطح ویفر در محدوده مناسبی باقی میماند.