Recubrimiento conformal para IR de obleas

Sat, 27 Jun 2026 01:06:14 +0800

En una línea de 300 mm, un desviación de 0,3 °C en la temperatura de la oblea puede afectar las dimensiones críticas del producto final. Una interrupción imprevista en el proceso puede arruinar todo el presupuesto térmico asignado para ese mes. El recubrimiento conformal para obleas es algo indispensable; sirve como “ancla térmica” que mantiene las condiciones adecuadas durante los procesos de litografía y tratamiento con fotosensible, ciclo tras ciclo.

Por qué lo diseñamos así
Ajustamos el recubrimiento para que responda bien a las señales infrarrojas y mantenga una temperatura uniforme, con una variación de ±0,1 °C en toda la superficie de la oblea durante los procesos de calentamiento. La película es compatible con ambientes de laboratorio de clase 1 a clase 100, y la generación de partículas es tan baja que no afecta negativamente la calidad del producto. El recubrimiento resiste ciclos térmicos repetidos sin agrietarse ni liberar gases, lo que permite mantener la precisión en miles de lotes producidos. La plataforma está diseñada para operar las 24 horas del día, sin fallas imprevistas, y su vida útil supera con creces la de los componentes térmicos convencionales.

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Recubrimiento conformal para IR de obleas