Sensor de temperatura para herramienta de obleas

Fri, 10 Jul 2026 01:30:32 +0800

¿Por qué los reflectores recubiertos de oro son realmente importantes para sus obleas?
En el mundo del procesamiento de semiconductores, la pérdida de calor es un problema grave. Eso afecta negativamente la eficiencia del proceso de producción. Cuando se trata de mantener temperaturas precisas en las obleas de silicio, lo último que se desea es que la energía infrarroja se escape hacia el chasis de la máquina. Eso significa perder energía inútilmente.

Utilizamos reflectores recubiertos de oro para evitar esto. En esencia, estos reflectores obligan a la energía a volver al lugar donde debe estar: directamente sobre el sustrato.

Zócalo para lámpara infrarroja para herramienta de obleas

Sat, 20 Jun 2026 01:44:32 +0800

En el área de producción, uno sabe lo rápido que las cosas pueden salir mal. Un desvío de medio grado en la temperatura de cocción ya es suficiente para que el perfil del fotolito no cumpla con los estándares requeridos. La línea de producción se detiene. Hemos diseñado el casquillo de la lámpara infrarroja para mantener un comportamiento térmico estable, turno tras turno.

Lo que realmente importa El casquillo combina emisores de infrarrojos de onda corta con una lámpara halógena de cuarzo y un cuerpo de cerámica con baja emisión de gases. La temperatura durante el proceso de cocción se mantiene dentro de un rango de ±0.1°C en toda la superficie de la oblea, mientras que la repetibilidad del valor de referencia se mantiene en ±0.05°C. Los materiales y el acabado son adecuados para entornos de tipo Clase 1–100, y el diseño evita la generación de partículas durante los ciclos de trabajo. La alimentación eléctrica se realiza a través de un conector diseñado para funcionar 24/7, y el perfil térmico se mantiene constante desde la primera hasta la última oblea.

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Sensor de temperatura para herramienta de obleas

Zócalo para lámpara infrarroja para herramienta de obleas